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一种高灵敏度形状检测新技术

张政 何世平 关锷 伍小平

张政, 何世平, 关锷, 伍小平. 一种高灵敏度形状检测新技术[J]. 力学学报, 1995, 27(3): 344-350. doi: 10.6052/0459-1879-1995-3-1995-440
引用本文: 张政, 何世平, 关锷, 伍小平. 一种高灵敏度形状检测新技术[J]. 力学学报, 1995, 27(3): 344-350. doi: 10.6052/0459-1879-1995-3-1995-440
A NEW HIGH SENSITIVITY TECHNIQUE FOR SHAPE MEASUREMENT[J]. Chinese Journal of Theoretical and Applied Mechanics, 1995, 27(3): 344-350. doi: 10.6052/0459-1879-1995-3-1995-440
Citation: A NEW HIGH SENSITIVITY TECHNIQUE FOR SHAPE MEASUREMENT[J]. Chinese Journal of Theoretical and Applied Mechanics, 1995, 27(3): 344-350. doi: 10.6052/0459-1879-1995-3-1995-440

一种高灵敏度形状检测新技术

doi: 10.6052/0459-1879-1995-3-1995-440

A NEW HIGH SENSITIVITY TECHNIQUE FOR SHAPE MEASUREMENT

  • 摘要: 应用光的干涉和衍射理论,系统地阐述了一种高灵敏度形状检测技术的基本原理,并提出了一个新的测试方法,可以消除坐标影响项,从而得到纯等高线条纹图。文中应用该技术,实际测量了带有几种压痕的平板表面的深度分布,分析了测量灵敏度和精度,给出了部分实验结果。

     

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  • 刊出日期:  1995-05-25

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