摘要: 采用等离子电弧沉积的方法, 分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5\mum 的氮化钛(TiN)膜. 为了筛选基材，采用纳米压痕和划痕技术, 评价膜基界面结合和固体润滑效果. 纳米压痕结果，GT35, 40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为 11.5GPa/330GPa, 6.0GPa/210GPa, 30GPa/450GPa. 纳米划痕结果，GT35有较理想的膜基结合能力；GT35, 40CrNiMo, TiN及其有机膜的摩擦系数分别约为0.25, 0.45, 0.15, 0.10. 同40CrNiMo相比，GT35是较为理想的基体材料. 纳米压痕和划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和摩擦等的信息，是评价亚微米薄膜力学性能的有效手段.