高频感应放电的理论分析
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摘要: 本文利用拟渠道模型得到简明的分析表达式,求出了放电特性曲线;定义了高频振荡器的输出特性曲线,并作了计算;且由槽路参数将上述两曲线联系起来,定出工作点。为此可预先对任一种气体及高频机判断放电能否维持;可以讨论对工程实践至关重要的阻抗匹配问题以及功率放大规律;并指出π网络适用于氢等离子体而且得到实验证实。
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陈允明. 高频感应放电的理论分析[J]. 力学学报, 1981, 17(2): 165-172. DOI: 10.6052/0459-1879-1981-2-1981-021
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陈允明. 高频感应放电的理论分析[J]. 力学学报, 1981, 17(2): 165-172. CSTR: 32045.14.0459-1879-1981-2-1981-021
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