力学学报 ›› 2003, Vol. 35 ›› Issue (4): 0-0.DOI: 10.6052/0459-1879-2003-4-2003-002

• 论文 •    

亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定

张泰华;郇勇;王秀兰   

  1. 中科院力学所非线性力学国家重点实验室,100080
  • 收稿日期:1900-01-01 修回日期:1900-01-01 出版日期:2003-07-25 发布日期:2003-07-25

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  1. 中科院力学所非线性力学国家重点实验室,100080
  • Received:1900-01-01 Revised:1900-01-01 Online:2003-07-25 Published:2003-07-25

摘要: 采用等离子电弧沉积的方法, 分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5$\mu$m 的氮化钛(TiN)膜. 为了筛选基材,采用纳米压痕和划痕技术, 评价膜基界面结合和固体润滑效果. 纳米压痕结果,GT35, 40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为 11.5GPa/330GPa, 6.0GPa/210GPa, 30GPa/450GPa. 纳米划痕结果,GT35有较理想的膜基结合能力;GT35, 40CrNiMo, TiN及其有机膜的摩擦系数分别约为0.25, 0.45, 0.15, 0.10. 同40CrNiMo相比,GT35是较为理想的基体材料. 纳米压痕和划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和摩擦等的信息,是评价亚微米薄膜力学性能的有效手段.